TY  - RPRT
TI  - Atomic layer etching (ALE) of III-nitrides
AU  - Ho, Wan Ying
AU  - Chow, Yi Chao
AU  - Biegler, Zachary
AU  - Qwah, Kai Shek
AU  - Tak, Tanay
AU  - Wissel-Garcia, Ashley
AU  - Liu, Iris
AU  - Wu, Feng
AU  - Nakamura, Shuji
AU  - Speck, James S.
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0159048
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2422395
ID  - 2422395
ER  -