TY  - RPRT
TI  - Tunable Sulfur Incorporation into Atomic Layer Deposition Films Using Solution Anion Exchange
AU  - Lenef, Julia D.
AU  - Gayle, Andrew J.
AU  - Jo, Jaesung
AU  - Fuelling, Kalyn M.
AU  - Yadavalli, Srinivas K.
AU  - Ortiz-Ortiz, Alondra M.
AU  - Sun, Kai
AU  - Peterson, Rebecca L.
AU  - Dasgupta, Neil P.
PY  - 2023
DO  - 10.1021/acs.chemmater.2c03773
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2423716
ID  - 2423716
ER  -