TY  - RPRT
TI  - Reactor wall effects in Si–Cl 2 –Ar atomic layer etching
AU  - Vella, Joseph R.
AU  - Elgarhy, Mahmoud I.
AU  - Hao, Qinzhen
AU  - Donnelly, Vincent M.
AU  - Graves, David B.
PY  - 2024
DO  - 10.1116/6.0003651
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2426348
ID  - 2426348
ER  -