TY  - RPRT
TI  - Atomistic mechanisms of silicon nitride crystallization elucidated by molecular dynamics
AU  - Janicki, Tesia Danielle
AU  - Chacon, Carlos Manuel
AU  - Chiu, Edwin
AU  - Gibson, Jason
AU  - Grutzik, Scott Joseph
AU  - Hattar, Khalid
AU  - Hennig, Richard
AU  - Parkin, Calvin
AU  - Podlevsky, Jennie
AU  - Rezwan, Aashique Alam
AU  - Bishop, Christopher
AU  - Lane, James Matthew Doyle
PY  - 2023
DO  - 10.2172/2430401
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2430401
ID  - 2430401
ER  -