TY  - RPRT
TI  - Ultra-thin on-chip ALD LiPON capacitors for high frequency application
AU  - Ahuja, Kunal
AU  - Sallaz, Valentin
AU  - Nuwayhid, Ramsay Blake
AU  - Voiron, Frederic
AU  - McCluskey, Patrick
AU  - Rubloff, Gary W.
AU  - Gregorczyk, Keith E.
PY  - 2023
DO  - 10.1016/j.jpowsour.2023.233056
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2447377
ID  - 2447377
ER  -