TY  - RPRT
TI  - Approaching Angstrom-Scale Resolution in Lithography Using Low-Molecular-Mass Resists (<500 Da)
AU  - Saifullah, Mohammad S. M.
AU  - Rajak, Anil Kumar
AU  - Hofhuis, Kevin A.
AU  - Tiwale, Nikhil
AU  - Mahfoud, Zackaria
AU  - Testino, Andrea
AU  - Karadan, Prajith
AU  - Vockenhuber, Michaela
AU  - Kazazis, Dimitrios
AU  - Valiyaveettil, Suresh
AU  - Ekinci, Yasin
PY  - 2024
DO  - 10.1021/acsnano.4c03939
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2448263
ID  - 2448263
ER  -