TY  - RPRT
TI  - Nanoscale Three-Dimensional Imaging of Integrated Circuits Using a Scanning Electron Microscope and Transition-Edge Sensor Spectrometer
AU  - Nakamura, Nathan
AU  - Szypryt, Paul
AU  - Dagel, Amber L.
AU  - Alpert, Bradley K.
AU  - Bennett, Douglas A.
AU  - Doriese, William Bertrand
AU  - Durkin, Malcolm
AU  - Fowler, Joseph W.
AU  - Fox, Dylan T.
AU  - Gard, Johnathon D.
AU  - Goodner, Ryan N.
AU  - Harris, James Zachariah
AU  - Hilton, Gene C.
AU  - Jimenez, Edward S.
AU  - Kernen, Burke L.
AU  - Larson, Kurt W.
AU  - Levine, Zachary H.
AU  - McArthur, Daniel
AU  - Morgan, Kelsey M.
AU  - O’Neil, Galen C.
AU  - Ortiz, Nathan J.
AU  - Pappas, Christine G.
AU  - Reintsema, Carl D.
AU  - Schmidt, Daniel R.
AU  - Schultz, Peter A.
AU  - Thompson, Kyle R.
AU  - Ullom, Joel N.
AU  - Vale, Leila
AU  - Vaughan, Courtenay T.
AU  - Walker, Christopher
AU  - Weber, Joel C.
AU  - Wheeler, Jason W.
AU  - Swetz, Daniel S.
PY  - 2024
DO  - 10.3390/s24092890
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2469889
ID  - 2469889
ER  -