TY  - RPRT
TI  - An automatic multi-precursor flow-type atomic layer deposition system
AU  - Rodriguez, Daniel Jorge
AU  - Her, Mai Ar
AU  - Usov, Igor Olegovich
AU  - Safarik, Douglas Joseph
AU  - Jones, Rommel
AU  - Heidlage, Michael Gregory
AU  - Gorey, Timothy John
PY  - 2024
DO  - 10.1063/5.0222271
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2478638
ID  - 2478638
ER  -