TY  - RPRT
TI  - Machine Learning of Plasma Science for Next Generation Microelectronics (Project Final Report)
AU  - Bentz, Brian Zahler
AU  - Hardin, Thomas James
AU  - Fierro, Andrew S.
AU  - Youngman, Kevin
AU  - Barberena Valencia, Juan Pablo
AU  - Hopkins, Matthew M.
AU  - Gorman, Grant Michael
AU  - Belianinov, Alex Andrei
PY  - 2024
DO  - 10.2172/2516889
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2516889
ID  - 2516889
ER  -