TY  - RPRT
TI  - Future of plasma etching for microelectronics: Challenges and opportunities
AU  - Oehrlein, Gottlieb S. (ORCID:0000000266934274)
AU  - Brandstadter, Stephan M.
AU  - Bruce, Robert L. (ORCID:0000000255745603)
AU  - Chang, Jane P. (ORCID:0000000184825744)
AU  - DeMott, Jessica C. (ORCID:0009000489137966)
AU  - Donnelly, Vincent M. (ORCID:0000000158346678)
AU  - Dussart, Rémi (ORCID:0000000320015034)
AU  - Fischer, Andreas (ORCID:0000000273120041)
AU  - Gottscho, Richard A. (ORCID:0000000174845223)
AU  - Hamaguchi, Satoshi (ORCID:0000000165808797)
AU  - Honda, Masanobu (ORCID:0009000972344498)
AU  - Hori, Masaru (ORCID:0000000214420749)
AU  - Ishikawa, Kenji (ORCID:0000000282886620)
AU  - Jaloviar, Steven G.
AU  - Kanarik, Keren J. (ORCID:0000000225268500)
AU  - Karahashi, Kazuhiro (ORCID:0000000199516573)
AU  - Ko, Akiteru (ORCID:0009000666994601)
AU  - Kothari, Hiten
AU  - Kuboi, Nobuyuki (ORCID:0009000425424878)
AU  - Kushner, Mark J. (ORCID:0000000174378573)
AU  - Lill, Thorsten (ORCID:0000000186685247)
AU  - Luan, Pingshan (ORCID:0000000275306341)
AU  - Mesbah, Ali (ORCID:0000000217000600)
AU  - Miller, Eric
AU  - Nath, Shoubhanik (ORCID:0000000250260877)
AU  - Ohya, Yoshinobu (ORCID:0009000859555592)
AU  - Omura, Mitsuhiro (ORCID:0009000517867342)
AU  - Park, Chanhoon (ORCID:0009000705318324)
AU  - Poulose, John (ORCID:0000000252664437)
AU  - Rauf, Shahid (ORCID:0000000156896115)
AU  - Sekine, Makoto (ORCID:0000000327482436)
AU  - Smith, Taylor G. (ORCID:0000000210592316)
AU  - Stafford, Nathan (ORCID:0009000041071858)
AU  - Standaert, Theo (ORCID:0009000901324262)
AU  - Ventzek, Peter L. G.
PY  - 2024
DO  - 10.1116/6.0003579
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2560935
ID  - 2560935
ER  -