TY  - RPRT
TI  - Zone plate-based extreme ultraviolet mask microscope with through-pellicle imaging capability
AU  - Benk, Markus
AU  - Zaytsev, Dmytro
AU  - Orman, Chris
AU  - Vollmer, Brandon
AU  - Santos, Daniel
AU  - Gamsby, Jeffrey
AU  - Mentz, Jeremy
AU  - Salmassi, Farhad
AU  - Allezy, Arnaud
AU  - Rekawa, Senajith
AU  - Miyakawa, Ryan
AU  - Chao, Weilun
AU  - Gullikson, Eric
AU  - Chegwidden, Scott
AU  - Zhang, Guojing
AU  - Naulleau, Patrick
AU  - La Fontaine, Bruno
PY  - 2024
DO  - 10.1117/1.jmm.23.4.041404
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2571661
ID  - 2571661
ER  -