TY  - RPRT
TI  - Abnormal Silicon Etching Behaviors in Nanometer-Sized Channels
AU  - Koo, Kunmo
AU  - Chang, Joon (ORCID:0000000188779917)
AU  - Ji, Sanghyeon
AU  - Choi, Hyuk (ORCID:0000000278992631)
AU  - Cho, Seunghee
AU  - Yoo, Seung
AU  - Choe, Jacob
AU  - Lee, Hyo
AU  - Bae, Sang
AU  - Oh, Jung
AU  - Woo, Hee
AU  - Shin, Seungmin
AU  - Lee, Kuntack
AU  - Kim, Tae-Hong
AU  - Jung, Yeon (ORCID:0000000277098347)
AU  - Kwon, Ji-Hwan
AU  - Lee, Ju
AU  - Huh, Yoon
AU  - Kang, Sung
AU  - Kim, Hyun (ORCID:0000000181051640)
AU  - Yuk, Jong (ORCID:0000000246777363)
PY  - 2024
DO  - 10.1021/acs.nanolett.4c00326
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2581588
ID  - 2581588
ER  -