TY  - RPRT
TI  - Detecting atomic oxygen in a micro plasma using complementary optical diagnostics
AU  - Steuer, David Frithjof
AU  - Impel, Henrik
AU  - Bentz, Brian Zahler
AU  - Youngman, Kevin
AU  - Gathen, Volker
AU  - Boke, Marc
AU  - Golda, Judith
PY  - 2024
DO  - 10.2172/2586125
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2586125
ID  - 2586125
ER  -