TY  - RPRT
TI  - Sapphire Substrate Trenching to Advance Superconducting High-Coherence Quantum Devices
AU  - Garattoni, S. [Fermilab]
AU  - Bal, M. [Fermilab]
AU  - Crisa, F. [Fermilab]
AU  - Murthy, A. [Fermilab]
AU  - Lee, J. Y. [Fermilab]
AU  - Clairmont, A. [Fermilab]
AU  - Sung, Z. [Fermilab]
AU  - Nekrashevich, I. [Fermilab]
AU  - Panthee, J. [Fermilab; Northwestern U.]
AU  - Zhu, S. [Fermilab]
AU  - Romanenko, A. [Fermilab]
AU  - Grassellino, A. [Fermilab]
PY  - 2026
DO  - 10.2172/3025849
UR  - https://www.osti.gov/biblio/3025849
ID  - 3025849
ER  -