TY  - RPRT
TI  - Characterization of electron microscopes with binary pseudo-random multilayer test samples
AU  - Yashchuk, Valeriy V
AU  - Conley, Raymond
AU  - Anderson, Erik H
AU  - Barber, Samuel K
AU  - Bouet, Nathalie
AU  - McKinney, Wayne R
AU  - Takacs, Peter Z
AU  - Voronov, Dmitriy L
PY  - 2010
UR  - https://www.osti.gov/biblio/991743
ID  - 991743
ER  -